Crossbeam 550（FIB 场发射扫描）

发布者：张彬彬发布时间：2025-04-04浏览次数：17

生产厂商：德国蔡司

型号：Crossbeam 550

放置地点：南湖校区综合实验楼二期117A房间

设备编号：20218897

设备主要参数：

1 SEM发射源：肖特基热场发射电子枪

FIB 发射源：带有镓液态金属离子源

2 SEM分辨率：0.7nm @15kv1.4nm @1kv

FIB分辨率：3nm@30kv

共焦点分辨率：0.9nm@15kv1.8nm@1kv

3 SEM探针电流范围：10pA－40nA

FIB探针电流范围：1pA－100nA

4 SEM加速电压范围：20v－30kv，10v/step 连续可调

FIB 加速电压范围：0.5kv－30kv, 10v/step 连续可调

5 SEM放大倍数范围：12x－2,000,000x，具有粗调和细调两种模式。

FIB放大倍数范围：300x－500,000x

6 SEM工作距离(WD)范围：0.1mm－50m

共焦点工作距离：5.1mm

7 分析工作距离：8.5mm

8 物镜光阑：单孔光阑

9 扫描方式：全屏，选区，点扫描，线扫描，扫描旋转，同时具有倾斜校正和动态聚焦功能。

10 样品室内部尺寸：330mm(直径) x 270mm(高)

11 样品台类型：6轴优中心马达驱动样品台，移动范围：X方向0mm－100mm，Y方向0mm－100mm，Z方向0mm-50mm，M轴-5mm－8mm,倾斜角度-4°－70°，旋转角度360°。

12 配备探头：SE2,EsB,Inlens,6分区抽插式BSD,抽插式STEM,牛津UltimMax100-EDS,牛津Symmetry-EBSD

主要功能：

微观形貌观察、能谱分析、EBSD分析，离子束微加工。

特点：