ZEISS Gemini SEM 560（场发射扫描）

生产厂商：德国蔡司

型号：ZEISS Gemini SEM 560

放置地点：南湖校区综合实验楼二期120B房间

1发射源：肖特基热场发射电子枪

2 图像分辨率：0.5nm @15kv0.8nm @1kv(非样品台减速模式)

3 探针电流范围：3pA－20nA

4 加速电压范围：20v－30Kv，10v/step 连续可调

5 放大倍数范围：1x－2,000,000x，具有粗调和细调两种模式。

6 工作距离(WD)范围：0.1mm－50mm

7 分析工作距离：8.5mm

8 物镜光阑：电动调节7孔可变光阑，坐标自动记忆功能。

9 扫描方式：全屏，选区，点扫描，线扫描，扫描旋转，同时具有倾斜校正和动态聚焦功能。

10 样品室内部尺寸：360mm(直径) x 270mm(高)

11 样品台类型：5轴优中心马达驱动样品台，移动范围：X方向0mm－130mm，Y方向0mm－130mm，Z方向0mm-50mm，倾斜角度-4°－70°，旋转角度360°。

12 最大样品尺寸：175mm(直径)，XY平面内可以全部观察到。

13 配备探头：SE2,EsB,Inlens,6分区抽插式BSD,抽插式HTBSD,Bruker XFlash7-EDS,平插能谱(BrukerXFlashFlatQUAD),Bruker e-FlashFS EBSD

14 纳米压痕仪(Bruker PI89)

最大载荷：10mN纵向载荷分辨率：3nN最大载荷深度：5um位移分辨率：0.02nm移动范围：X方向12mm Y方向26mm Z方向29mm定位精度：1nm控制频率：78,000Hz数据采集率：39,000Hz

主要功能：

微观形貌观察、能谱分析、EBSD分析。

特点：

配有平插能谱探头，可对表面高度差较大的样品进行分析；配备TKD探头，可实现同轴TKD分析；配备纳米压痕仪，可对样品的微区模量及硬度进行分析。