ZEISS Gemini SEM 460（场发射扫描）

生产厂商：德国蔡司

型号：ZEISS Gemini SEM 460

放置地点：南湖校区综合实验楼二期120A房间

设备编号：2024E36D

设备主要参数：1 发射源：肖特基热场发射电子枪

2 图像分辨率：0.7nm @15kv1.1nm @1kv/500v(非样品台减速模式)

3 探针电流范围：3pA－40nA

4 加速电压范围：20v－30Kv，10v/step 连续可调

5 放大倍数范围：8x－2,000,000x，具有粗调和细调两种模式。

6 工作距离(WD)范围：0.1mm－50mm

7 分析工作距离：8.5mm

8 物镜光阑：单孔光阑

9 扫描方式：全屏，选区，点扫描，线扫描，扫描旋转，同时具有倾斜校正和动态聚焦功能。

10 样品室内部尺寸：360mm(直径) x 270mm(高)

11 样品台类型：5轴优中心马达驱动样品台，移动范围：X方向0mm－130mm，Y方向0mm－130mm，Z方向0mm-50mm，倾斜角度-4°－70°，旋转角度360°。

12 最大样品尺寸：175mm(直径)，XY平面内可以全部观察到。

13 配备探头：SE2,EsB,Inlens,6分区抽插式BSD,抽插式HTBSD,牛津UltimMax100-EDS,牛津Symmetry3-EBSD

14 原位高温拉伸台

最大载荷：5kN速度范围：0.55um/s－30um/s 温度控制范围：室温－800℃，控温精度：0.1℃样品拉伸范围≥10mm

主要功能：

微观形貌观察、能谱分析、EBSD分析。

特点：

大束流工作模式，可快速进行EBSD和能谱分析，配有原位拉伸台，可实现样品的原位拉伸、变温EBSD分析。