ZEISS Ultra Plus（场发射扫描）

生产厂商：德国蔡司

型号：ZEISS Ultra Plus

放置地点：南湖校区综合实验楼二期119房间

1 发射源：肖特基热场发射电子枪

2 分辨率：0.8nm @15kv1.6nm @1kv

3 探针电流范围：4pA－20nA

4 加速电压范围：20v－30Kv，10v/step 连续可调

5 放大倍数范围：12x－2,000,000x，具有粗调和细调两种模式。

6 工作距离(WD)范围：0.1mm－50mm

7 分析工作距离：8.5mm

8 物镜光阑：电动调节7孔可变光阑，坐标自动记忆功能。

9 扫描方式：全屏，选区，点扫描，线扫描，扫描旋转，同时具有倾斜校正和动态聚焦功能。

10 样品室内部尺寸：330mm(直径) x 270mm(高)

11 样品台类型：5轴优中心马达驱动样品台，移动范围：X方向0mm－130mm，Y方向0mm－130mm，Z方向0mm-50mm，倾斜角度-3°－70°，旋转角度360°。

12 配备探头：SE2,AsB,Inlens,EsB,牛津UltimMax100-EDS,牛津Symmetry2-EBSD

主要功能：

微观形貌观察、能谱分析、EBSD分析。

特点：综合性扫描电镜，兼顾形貌观察与分析。2012年购进，2023年更新了能谱与EBSD探头。