X射线光电子能谱仪

仪器简介

X射线光电子能谱仪（XPS，岛津 AXIS SUPRA⁺）可对有机高分子、金属及复合材料等固体材料表面10 nm深度范围内进行元素及其化学状态、价带电子态分析；实现表面元素及其化学状态的二维分布分析及纵深方向分布分析；结合离子刻蚀技术可实现表面元素及其化学状态的纵深方向分布分析。

主要性能指标：

Ø单色化X射线光源：Al/Ag双阳极；

Ø最佳电子能谱能量分辨（Ag 3d_5/2）：优于0.43 eV；

Ø最佳化学状态成像空间分辨（快速平行成像）：优于1 um；

Ø常规XPS分析（Ag 3d_5/2）：0.6 eV @ 2.5 Mcps；

Ø绝缘体分析（PET）：0.68 eV @ 20 kcps（O-C=O的C 1s峰的半高全宽@C-C/C-H的C 1s峰计数率）；

Ø附件：紫外光电子能谱、Ar/Ar团簇离子源、高温催化反应池。